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射频电源：频率超过1M（兆）称其为射频。射频电源包括：等离子体电源、介质加热电源。
等离子体电源：等离子体就是正、负离子相等的带电粒子系统。射频等离子体发生器的频率2～6.75M。当正负带电粒子碰撞中和时，产生电弧，等离子体火焰绝对纯净，没有污染，其温度可达6000～10000℃，可完成特殊材料的加工。
射频等离子
介质加热电源：与传统的感应加热原理没有区别，也是用感应线圈作输出，用于加热某些不导电的材料和半导体材料。
参考数据：
